Хімічне осадження з парової фази (CVD)

Хімічне осадження з парової фази (CVD) - процес нанесення зовнішнього покриття або покриття з модифікацією поверхні, що покривається, в якому метал, сплав, "композиційний" матеріал, діелектрик або кераміка наносяться на нагріту підкладку (основу). Газоподібні реагенти розпадаються або сполучаються на поверхні виробу, внаслідок чого на ній утворюються потрібні елементи, сплави або хімічні сполуки. Енергія для такого розпаду або хімічної реакції може бути забезпечена нагріванням підкладки плазмовим розрядом або променем "лазера".